P13系列壓電納米定位臺為二維XY、三維XYZ壓電平臺，臺體采用平行運動學機構放大設計原理，內置高性能壓電陶瓷，zui大位移為 40μm/軸。開環閉環版本可供選擇。產品主要應用于光學顯微、生物科技等領域。 典型應用
• 2D/3D掃描系統 • 光路調整
• 半導體技術 • 微操作
• 原子力顯微鏡 • 納米定位
P13系列壓電納米定位臺特點： • 2~3維運動 • 位移行程40μm • 體積小巧 • 亞毫秒響應時間    二、三維平移臺
P13壓電納米定位臺，包括二維XY軸、三維XYZ 軸兩個規格型號。   超小體積、無機械間隙、高分辨率 
固態鉸鏈平行四邊形設計原理，平行運動無機械間隙，該結構原理使其具有非常高的分辨率，運動直線性好。P13系列壓電納米定位臺可以很容易的安裝到其他的定位系統并且可以配置傳感測量裝置（應變計傳 感器）消除壓電陶瓷的遲滯與蠕變特性。P13壓電平移臺適用于動態使用，是掃描應用的 理想選擇。 閉環階躍穩定時間圖 P13.XY閉環版本40μm行程的穩定時間約為30ms。 技術參數 型號 | 尾綴S-閉環 尾綴K-開環 | P13.XY40S P13.XY40K | P13.XYZ40S P13.XYZ40K | 單位 | 運動自由度 | X、Y | X、Y、Z | | 標稱行程范圍（0~120V） | 30/軸 | 30/軸 | μm±20% | zui大行程范圍（-20~150V） | 40/軸 | 40/軸 | μm±20% | 傳感器類型 | SGS/- | SGS/- | | 閉/開環分辨率 | 1.5/0.7 | 1.5/0.7 | nm | 閉環線性度 | 0.2/- | 0.2/- | %F.S. | 閉環重復定位精度 | 0.1/- | 0.1/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動 | <5 | <5 | µrad | 推/拉力 | 5/2 | 8/3 | N | 運動方向剛度 | X0.15/Y0.2 | X0.1/Y0.15/Z0.2 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | X0.45/Y0.55 | X0.35/Y0.4/Z0.58 | kHz±20% | 閉/開環空載階躍時間 | 30/2 | 30/3 | ms±20% | 閉環空載 工作頻率 | 10%行程 | 50 | 35 | Hz±20% | 行程 | 5 | 3 | zui大承載 | 0.05 | 0.05 | kg | 靜電容量 | 0.8/軸 | 0.8/軸 | μF±20% | 材質 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | | 重量 | 110 | 220 | g±5% |
以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。 |
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