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4月10日，國家重點研發(fā)計劃“基礎(chǔ)科研條件與重大科學儀器設(shè)備研發(fā)”重點專項“極端環(huán)境下壓電納米探針臺”項目啟動暨實施方案論證會，在牽頭單位哈爾濱芯明天科技有限公司順利召開！本項目圍繞極端環(huán)境下微納操作應(yīng)用需求，開展癌細胞、卵母細胞等典型細胞樣品的多參數(shù)檢測、絕緣體上硅晶圓級材料可靠表征、掃描電鏡下透射電鏡樣品操作與組裝等典型微納操作與測試應(yīng)用驗證。

該項目由哈爾濱芯明天科技有限公司牽頭承擔，聯(lián)合蘇州科技大學、中科院微電子研究所、蘇州大學共4家國內(nèi)專業(yè)領(lǐng)域優(yōu)勢單位進行協(xié)同攻關(guān)。

黑龍江省科技廳石兆輝副廳長、科技廳高新處孫昭光處長等受邀出席啟動會，特別邀請了中國科學院空天信息創(chuàng)新研究院精密光學測量主任張文喜研究員、中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司雷震霖研究員、哈爾濱工業(yè)大學儀器科學與工程學院院長劉儉教授、合肥工業(yè)大學儀器科學與光電工程學院院長夏豪杰教授、中國計量科學研究院納米計量主任施玉書研究員、上海精密科學儀器有限公司殷傳新研究員、中國科學院過程工程研究所財務(wù)專家李敏老師、特邀專家中國科學院微電子研究所周維虎研究員作為項目指導(dǎo)專家參會。項目負責人蘇州科技大學汝長海教授，課題負責人中國科學院微電子研究所孫寶剛研究員，蘇州大學楊湛教授，中國科學院微電子研究所高超研究員，蘇州科技大學孟思源博士，項目牽頭單位哈爾濱芯明天科技有限公司總經(jīng)理陳峰、副總經(jīng)理楊明遠以及課題組各位骨干成員共同參會。

會議合影

省科技廳副廳長石兆輝在致辭中首先對項目的獲批表示祝賀，并提到了：“習近平*視察黑龍江提出以科技創(chuàng)新引領(lǐng)產(chǎn)業(yè)全面振興，整合科技創(chuàng)新資源，引領(lǐng)發(fā)展戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，加快形成新質(zhì)生產(chǎn)力。芯明天牽頭的極端環(huán)境下壓電納米探針臺項目就是新質(zhì)生產(chǎn)力，要利用好此次項目聚集國內(nèi)行業(yè)專家，幫助項目實施落地，助力形成先進成果。”

黑龍江省科技廳副廳長

芯明天公司總經(jīng)理陳峰對各位領(lǐng)導(dǎo)與專家組參會表達了歡迎和感謝，并表示：“作為項目牽頭單位，將積極聯(lián)合各參與單位，強化使命擔當，加強組織協(xié)同，優(yōu)化資源配置，秉持嚴謹務(wù)實的科研作風，全力提供項目實施的保障條件，全面落實項目的全過程管理工作，確保項目順利實施和完成項目目標。”

隨后，會議舉行了項目專家組受聘儀式并頒發(fā)聘書。

會議選舉責任專家張文喜研究員作為專家組組長主持技術(shù)會議。

項目負責人汝長海教授代表項目組詳細介紹了課題任務(wù)和實施方案，包括項目技術(shù)的開發(fā)、驗證、工程化開發(fā)、關(guān)鍵問題、任務(wù)分解、預(yù)期成果及考核指標等。各課題負責人分別就各自課題進行了目標任務(wù)、主要研究內(nèi)容、技術(shù)路線與方案、預(yù)期成果等方面的匯報。

項目專家圍繞項目的技術(shù)路線、研究方法、預(yù)期目標等方面進行了細致的分析和評估，就研究方案的細化、各課題間的分工協(xié)作、項目的落實及執(zhí)行過程中可能遇到的問題與對策等諸多方面給出了寶貴建議。經(jīng)討論，專家組認為該項目實施方案目標明確，科學問題清晰，研究內(nèi)容全面，技術(shù)路線可行，任務(wù)分工合理，專家組一致同意項目實施方案通過論證，并對項目的未來實施前景表示樂觀和期待。

會議現(xiàn)場

國家重點研發(fā)計劃“極端環(huán)境下壓電納米探針臺”項目于2023年12月立項，項目經(jīng)費800萬元，下設(shè)3個課題，共4家參與單位。本項目是傳統(tǒng)探針臺技術(shù)向微納尺度與極端環(huán)境方向上的延伸，為微納制造、半導(dǎo)體開發(fā)、集成電路測量、生物醫(yī)學等前沿領(lǐng)域提供了重要的研究方法與技術(shù)手段。通過本項目的順利實施，將突破極端環(huán)境下納米定位、精密傳感等關(guān)鍵核心技術(shù)，研發(fā)納米馬達、微納牛力傳感器等核心零部件，打破國外技術(shù)和產(chǎn)品壟斷，并面向市場應(yīng)用開發(fā)系列微納精密儀器等高端裝備，必將提升了我國微納操作、微納表征與微納測量技術(shù)水平，推動了我國新材料、半導(dǎo)體芯片制造等領(lǐng)域的高質(zhì)量發(fā)展，和引領(lǐng)下一代智能與精密制造技術(shù)的發(fā)展。

中國科學院空天信息創(chuàng)新研究院、中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司、哈爾濱工業(yè)大學、合肥工業(yè)大學、中國計量科學研究院、上海精密科學儀器有限公司、中國科學院過程工程研究所、中國科學院微電子研究所、蘇州科技大學、蘇州大學、哈爾濱芯明天科技有限公司等相關(guān)單位負責人及技術(shù)骨干成員參加會議。

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