芯明天壓電納米探針臺(tái)
芯明天壓電納米探針臺(tái)主要由壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)的壓電馬達(dá)和探針組成，在新材料、新能源、半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥、基礎(chǔ)科研等前沿領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用，主要作用是完成納米級(jí)別物性測(cè)量以及納米級(jí)別運(yùn)動(dòng)操作，可在三維空間上實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)定位。隨著分析儀器技術(shù)的高端化發(fā)展，以及不斷拓寬的應(yīng)用場(chǎng)景，壓電納米探針臺(tái)成為了分析儀器的重要組成部分。
芯明天壓電納米探針臺(tái)的運(yùn)動(dòng)形式是多樣化的，可任意選擇納米探針臺(tái)的運(yùn)動(dòng)維度、運(yùn)動(dòng)方向、運(yùn)動(dòng)范圍、運(yùn)動(dòng)精度、探針模組數(shù)量、探針夾具類型等。本次介紹一款具有中心探針平臺(tái)并搭配4個(gè)探針模組的納米探針臺(tái)系統(tǒng)。
芯明天壓電納米探針臺(tái)
此款芯明天壓電納米探針臺(tái)具有中心探針臺(tái)，并搭配4個(gè)納米探針臺(tái)模組。產(chǎn)品外觀如下圖所示。
中心探針臺(tái)，可進(jìn)行XYZ三軸運(yùn)動(dòng)，XY向運(yùn)動(dòng)行程≥20mm，Z向運(yùn)動(dòng)行程≥20μm，可在低溫真空環(huán)境下使用，使用溫度范圍在0℃到60℃，使用真空度可達(dá)到10^-4Pa。四個(gè)探針模組可進(jìn)行XYZ直線及R旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，XY方向行程≥5mm，Z向行程≥0.5mm，探針的R向旋轉(zhuǎn)達(dá)180°。
產(chǎn)品特點(diǎn)
每個(gè)探針擁有7個(gè)運(yùn)動(dòng)維度
毫米運(yùn)動(dòng)與微米運(yùn)動(dòng)相結(jié)合
毫米行程達(dá)≥20mm
高精度可達(dá)≤2nm
使用溫度范圍達(dá)0℃到60℃
真空環(huán)境使用條件達(dá)10^-4Pa，可定制
運(yùn)動(dòng)軸、行程、速度、外形尺寸、固定接口等可定制
產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體行業(yè)、電學(xué)性能測(cè)試分析、材料、新能源、物理學(xué)、生物醫(yī)學(xué)及其他等。
技術(shù)參數(shù)
配套控制器
E53.D1E系列壓電控制器適用于驅(qū)動(dòng)芯明天壓電納米探針臺(tái)。它是單通道壓電控制器，采用數(shù)字控制，可閉環(huán)伺服或開(kāi)環(huán)控制，外觀體積非常小巧，尺寸僅為105×103×30.1mm^3，非常適配于尺寸緊湊的壓電納米探針臺(tái)。
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