新品推薦|XD106.XYZ60K超低溫真空無磁壓電掃描臺
隨著科學技術(shù)的深入研究，在低溫真空強磁的環(huán)境下提供納米級精密定位的應(yīng)用在物理學、化學和材料學等領(lǐng)域應(yīng)用越來越多，而低溫真空無磁壓電運動平臺是一種高精度精密定位設(shè)備，主要特點是高精度、高穩(wěn)定性和高可靠性，可在低溫、真空及磁場等情況下提供精密定位，在半導體加工、檢測等方面廣泛應(yīng)用。
XD106.XYZ60K
產(chǎn)品特點
· 低溫真空無磁，耐低溫可達4K
· XYZ三維運動
· 4K溫度下位移達30μm/軸
· 分辨率可達2nm
· 開環(huán)運動控制
· 響應(yīng)速度快
產(chǎn)品應(yīng)用
· 半導體加工
· 半導體檢測
· 高精密測試和操作
· 其他真空無磁要求的納米運動控制等
技術(shù)參數(shù)
推薦控制器
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