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高精度直線壓電掃描臺是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源，結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運(yùn)動(dòng)的壓電平臺，壓電掃描臺中心具有通孔且體積小巧、無摩擦、分辨率高、響應(yīng)速度快，配置高精度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有*的可靠性。產(chǎn)品主要應(yīng)用于透光精密光學(xué)器件的定位與調(diào)整、生物顯微與光學(xué)顯微成像系統(tǒng)等。

特點(diǎn)

高分辨率

壓電掃描臺是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源，壓電陶瓷是高精度致動(dòng)器，通過控制電壓的微小變化產(chǎn)生非常小的位移，可達(dá)到亞納米級。

多種通孔尺寸可選

從適用于小型設(shè)備（如紅外熱成像）的小通孔壓電掃描臺到大型設(shè)備（如大口徑干涉儀）用的大通孔壓電掃描臺，多種規(guī)格型號可選。

快速響應(yīng)、抗干擾

壓電納米定位臺由容性負(fù)載驅(qū)動(dòng)，可產(chǎn)生毫秒級的響應(yīng)時(shí)間，響應(yīng)速度非?？欤瑫r(shí)由于自身的材料特性，使其在使用過程中不受干擾，能夠?qū)崿F(xiàn)大的性能輸出。

無磨損、低功耗

壓電納米運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無磨損、免維護(hù)等特點(diǎn)。同時(shí)壓電效應(yīng)將電能直接轉(zhuǎn)換為運(yùn)動(dòng)，在靜態(tài)操作時(shí)，即使在負(fù)載情況下，也不會(huì)消耗功率。

應(yīng)用領(lǐng)域

原子力顯微鏡

閉環(huán)納米定位掃描臺作為原子力顯微鏡的一部分，可帶動(dòng)樣品進(jìn)行高速精密運(yùn)動(dòng)，可以實(shí)現(xiàn)X、Y、Z軸大375μm的掃描，分辨率為亞納米級，響應(yīng)時(shí)間可達(dá)亞毫秒。

三維共焦顯微

三維共聚焦顯微拉曼光譜分析儀器，能在納米范圍內(nèi)測量物質(zhì)化學(xué)狀態(tài)的三維圖像。壓電物鏡驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)對顯微鏡在Z軸方向上的納米級在線實(shí)時(shí)調(diào)焦，XY二維壓電掃描臺實(shí)現(xiàn)對被測物高精度的二維平面位移運(yùn)動(dòng)。

紅外熱成像掃描

紅外熱成像通過紅外敏感CCD對物體進(jìn)行成像，能反映出物體表面的溫度場。二維壓電掃描臺的高速高精度掃描大大提高了熱成像的分辨率。