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XD303系列壓電偏轉鏡采用鋼材料殼體，具有高剛性，是專為大承載應用而設計，承載能力達500g，適于帶載大型鏡片做快速偏轉運動。

特性

• θx、θy 二維偏轉 • 承載能力達500g • 高諧振頻率 • 響應速度快

驅動原理

壓電偏轉鏡（兩軸運動）是基于平行運動學設計，具有共面軸及移動面。四個執行機構（壓電促動器）以90°角平分放置，成對的差分控制分布。兩對差分驅動壓電促動器在較大溫度范圍內提供可實現的角度穩定性。它的偏擺運動是由兩對壓電促動器以推拉模式來實現，采用橋式連接電路控制。

技術參數

型號：XD303.T1S

運動自由度：θx θy

標稱偏轉角度：0.8mrad@120V

偏轉角度：1mrad@150V

傳感器類型：SGS

分辨率：0.1μrad

線性度：0.5 %F.S.

重復度：0.2 %F.S.

空載諧振頻率：2800Hz

帶載500g諧振頻率：600Hz

階躍時間：5ms

靜電容量：14.5μF

材質：鋼

重量：2000g

注：以上參數是采用E00/E01 系列壓電控制器測得。驅動電壓可在-20V~150V；對于高可靠的長期使用，建議驅動電壓在0~120V。

推薦壓電控制器-E70系列

芯明天E70系列壓電控制器具有大電流、小體積的特點，驅動XD303系列壓電偏轉鏡，可滿足快速響應、高控制精度的要求。