超精密加工中的FTS快速刀具伺服系統
精密、超精密加工技術在我國的應用已不再局限于航空航天或其他應用等少數部門，它已擴展到日常生活與應用中的許多領域，應用規模也有很大的增長。超精密加工是實現納米加工的有效方式，其中壓電快速刀具伺服系統是超精密加工中的核心器件，快速刀具定位臺帶動車刀或其他刀具微納米級進給，在工件表面進行加工。此外也可加工各種回轉表面，如內圓柱面、內外圓錐面，螺紋、溝槽、端面和成型面等。
芯明天快速刀具定位臺是為超精密加工而研發設計的，利用自身所具有的高響應頻率、高剛度、高精度等特性，驅動刀具在運動方向快速實現滿行程118微米微進給，能夠實現復雜面形工件或結構的精密加工，特別是適合刀具微進給、誤差補償、FTS微位移工作臺等應用。
技術參數
型號：P93.X100
行程范圍（0~120V）：95μm
行程范圍（0~150V）：118μm
傳感器：CAP/
閉/開環分辨率：15/20/10nm
閉環線性度：0.1/0.15%F.S.
閉環重復定位精度：0.03/0.05%F.S.
俯仰/偏航/滾動：<20μrad
推/拉力： 300/25N
運動方向剛度：3N/μm
空載諧振頻率：0.2kHz
閉/開環空載階躍時間：30/7ms
承載能力：20kg
靜電容量：15μF
材質：鋼
重量：3500g
驅動控制
E01.D1系列壓電控制器具有輸出高功率、高電流等特點，非常適于驅動電容較大的快速刀具定位臺。
