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P18.XY300S壓電掃描臺為二維XY運(yùn)動(dòng)閉環(huán)直線掃描臺，采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)部以高可靠性的壓電陶瓷為驅(qū)動(dòng)源，可以實(shí)現(xiàn)370μm/軸的高速掃描，通光孔徑為Ø35mm，非常適用于大行程多維掃描等應(yīng)用。

特點(diǎn)

位移可達(dá) 370μm

承載可達(dá)1.5kg

通孔直徑：Ø35mm

閉環(huán)重復(fù)定位精度高

響應(yīng)速度快

階躍時(shí)間

單點(diǎn)定位應(yīng)用，P18.XY300S 帶載 100g 負(fù)載階躍時(shí)間 60ms。

配套控制器

P18.XY300S二維壓電掃描臺需要三個(gè)輸出通道的壓電控制器進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，其中兩個(gè)通道為可變0~120V輸出，另一通道為120V恒壓輸出。P18.XY300S配套E72.D3S-I1壓電控制器，可滿足P18.XY300S的各項(xiàng)參數(shù)要求。

應(yīng)用實(shí)例-納米光刻

在納米光刻實(shí)驗(yàn)中需要對鏡片進(jìn)行高速微納米級的精密移動(dòng)，從而優(yōu)化鏡片讀取的信息。

芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)應(yīng)用于納米光刻實(shí)驗(yàn)。

典型應(yīng)用

圖像處理與穩(wěn)定

掃描顯微

干涉/計(jì)量

表面檢測

光學(xué)計(jì)量

半導(dǎo)體測量